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商品详情
辉光等效等离子PECVD系统
微行炉业公司研制的PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区，辉光均匀等效，这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态，这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍，并解决了物料不均匀堆积现象。其优势有沉积温度低，沉积速率快，成膜质量好，针孔较少，不易龟裂等。
辉光等效等离子PECVD系统由管式炉，真空机组分子泵或机械泵，多通道气路系统这三部分组成，成套出售，根据客户要求定制，有需要的来电咨询索取相关产品资料及报价，24小时业务专线：15026959022
