双温区滑轨式真空管式炉是专为生长石墨烯研制的石墨烯生长专用炉，也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验，这款设备是根据开启式真空管式炉改装而来的，操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处，使样品能得到一个快速的升温速度，同样也可将高温的管式炉直接推离样品处，使样品直接暴露在室温环境下，得到快速的降温速率。

滑轨式真空管式炉:

额定功率：3KW

额定电压：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz

最高温度：1200℃ (1 hour)

持续工作温度：1100 ℃

最大升&降温速率：≥10℃/S

炉管尺寸高纯石英管： Φ50，Φ60，Φ80，Φ100×1400mm

加热区长度：200 mm+200mm

恒温区长度：100 mm+100mm

控温方式：30段可编程PID

控温精度：±1℃

进口真空系统:
采用KF25系列波纹管和手动挡板阀
真空度可达10-1Pa

抽速：4L/S
数显真空测试仪可直观的显示数值

质量流量计控制气路系统（可来图定制）

内部装有高精度质量流量计可准确的控制气体流量
气体流量范围为0-200 误差为±1.5%
一个气体混气罐的底部安装了液体释放阀
不锈钢针阀安装在左侧可手动控制混合气体输入