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对校准。建议备用一只同时校准的规管，以备怀疑规管污染失真时进行对比。极限压力升高会使高真空时段的抽气效率下降，也会使极限全压力升高。可以参照上述介绍来判断、检查、处理抽气效率下降和极限全压力升高的故障。（7）真空泵噪声大。泵的结构设计，电机与泵轴承的噪声，旋片等运动件是否滑畅、进油量太多、风扇、传动件产生的噪声、进气量大，开气镇运转、挡油板等泵内零件松动，安装不平等引起振动，都会影响泵的噪声。（8
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真空泵卡死故障原因

1、润滑问题: 润滑油不足或失效可能导致摩擦增加，使得真空泵内部的零件无法正常运转。

2、机械零件损坏: 内部机械零件如叶片、轴承或齿轮由于磨损或损坏而造成卡死。

3、外部异物进入: 异物进入真空泵内部可能导致机械零件卡死。

4、电机故障: 电机故障或电源问题可能使得真空泵无法正常运转。

5、泵内部故障: 泵内部零部件损坏或松动，如转子、叶片等故障导致卡死。

6、过载运行: 长时间过载运行可能造成绕组短路，导致真空泵电机无法正常运转。

7、制造质量问题: 若真空泵零部件加工精度不足、装配不良等，也可能导致卡死故障。

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真空泵卡死维修方法

1、检查润滑系统: 首先检查真空泵的润滑系统，确保润滑油充足，清洁，并且滤芯有效。如有需要，更换新的润滑油，并清洁或更换润滑油滤芯。

2、机械零件检查: 检查真空泵内部的叶片、轴承和齿轮等关键机械部件，排查是否有磨损、松动或损坏，并对其进行修复或更换。

3、排除外部异物: 检查真空泵内部是否有外部异物进入，清除异物以使得机械零件能够自由运转。

4、检查电机状态: 检查电机的安装和运行情况，确保电机本身没有故障。

5、电路检查: 检查真空泵的电路，排查电源是否正常，确保启停开关和丝等电路元件完好。

6、环境调整: 对工作环境进行调整，减少可能的震动和噪音。

7、维护和保养: 进行定期的维护和保养，包括更换密封件、润滑油，清洁滤芯等。

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