多角度激光椭偏仪(PH-LE型)专门针对晶硅太阳能电池绒面上的减反膜测量,能够测量薄膜厚度及其光学常数,使用632.8nm波长氦氖激光器,具有极高的精确度和准确度。
多角度激光椭偏仪-产品特点
■可以测量单晶电池片、多晶电池片
■可以测量抛光片,精确度和准确度极高
■可以测量粗糙表面的“绒片”
■适用于对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的低反射光强进行测量
■可对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的退偏因数(偏振因数)进行测量和评估,提高测量精度
■配置有高稳定度补偿器,提供小的漂移值和小的测量误差
■配置有高精度的自动光学对准显微镜
■可进行20°-90°范围内的多角度测量
多角度激光椭偏仪-测量特点
■非破环性检测
■样品准直简单方便
■测量速度快
■可变入射角范围宽
■测量
■软件分析功能强
多角度激光椭偏仪-技术指标
■光源:He-Ne激光器
■光斑直径:1-2mm
■入射角范围:20°到90°,5°/步
■精度:0.002°~ 0.02°
■膜厚精度:0.01mm,对100nmSiO2on Si
■折射率精度:0.0005,对100nmSiO2on Si
■激光光斑:直径1mm
■激光波长632.8 nm
多角度激光椭偏仪-典型客户
美国,欧洲,亚洲及国内太阳能及半导体客户。
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