重塑微流控制造范式:非接触式CO2激光加工系统实现芯片零损伤精密制造
在微流控芯片迈向产业化之际,传统机械加工导致的材料应力损伤、化学蚀刻引发的污染已成为行业瓶颈。我司全自动CO2激光雕刻切割系统(非接触式微流控芯片激光加工设备),凭借非接触式加工技术,解决PMMA、PDMS等多元材料的微流控芯片制造难题,实现无应力、无污染、跨材料的一站式精密加工。
非接触式激光加工核心价值
1. 零物理损伤
激光束无工具磨损式加工,消除机械应力导致的材料形变(如PDMS拉伸变形、石英微裂纹、亚克力边缘碎裂),微通道结构完整性提升99%,保障芯片功能可靠性。
2. 全材料兼容
智能能量控制系统动态匹配材料特性:
热敏材料(PDMS):脉冲调制技术控制热影响区小,避免硫化失效
硬脆材料(石英):高功率脉冲瞬时气化,实现30μm线宽无锥度雕刻
聚合物(PMMA):优化波长吸收率,切口透光度高
单台设备覆盖90%微流控芯片基材
3. 洁净级生产环境
全封闭加工舱体+负压除尘系统:
隔绝外部污染物
过滤纳米级加工微粒
技术参数概览 (典型范围):
激光类型: 金属射频管
激光功率: 30W - 80W+ (可根据需求选配)
加工精度: ±0.1mm
最小线宽: 可达30μm或更细 (与材料/功率相关)
兼容材料: PMMA (亚克力)、聚碳酸酯 (PC)、聚苯乙烯 (PS)、环烯烃共聚物/聚合物 (COC/COP)、PI、PET 等聚合物薄膜/片材。
工作台尺寸: 常见 510x310mm, 1000x600mm 或定制
软件: CAD\CDR等绘图软件直接输出