真空伺服电机 - 高真空环境的精准动力解决方案 

核心特点 

深空创想专为真空环境研发的特种伺服电机，采用超低出气材料与全密封设计，确保在10?3Pa至高真空环境下稳定运行，保持卓越的定位精度和动态响应性能。 

关键技术 

材料工艺：采用不锈钢壳体、无氧铜绕组、聚酰亚胺绝缘材料 

密封技术：全焊接密封结构，轴封采用磁流体密封技术

 润滑方案：固体润滑或特种真空润滑脂，确保超低出气率 

温度适应：支持高温烘烤除气，工作温度范围-20℃至+150℃ 

主要应用 

半导体制造：光刻机、刻蚀机、PVD/CVD设备内部驱动 

真空镀膜：卷绕镀膜、光学镀膜设备的精密传动 

科研仪器：电子显微镜、粒子加速器、真空分析设备

选型建议 明确真空度要求（低真空/高真空/超高真空） 

确认工作温度范围及是否需要烘烤功能 

评估负载特性与运动控制精度需求 

考虑系统兼容性与安装空间限制 

产品优势 出气率＜10?11 Pa·m3/s·cm2 保持IP68同级密封性能 支持定制化设计与特殊认证 提供完整真空适配解决方案

深空创想专业真空伺服电机，为您的精密真空系统提供可靠、洁净、精准的动力支持。