氢氧化锆在多晶硅生产有高效的深度提纯吸附剂
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产品价格：￥31.00（人民币）
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    商品详情
      氢氧化锆通过转化为氧化锆，在陶瓷领域主要用于制备高性能锆基陶瓷和优化其他陶瓷的结构与性能，尤其在提升陶瓷的强度、韧性和耐高温性方面发挥关键作用，广泛应用于结构部件、功能器件及生物医疗等领域。
      氢氧化锆在多晶硅生产中具有重要作用，主要体现在深度提纯吸附和化学机械抛光两个方面：

      • 深度提纯吸附：在多晶硅生产中，氢氧化锆是一种高效的深度提纯吸附剂。多晶硅生产通常采用西门子法，以三氯氢硅为原料，通过氢气还原在硅芯上沉积多晶硅。氢氧化锆可以吸附去除三氯氢硅原料中的金属离子和部分非金属杂质，如硼、磷等，为后续还原工序提供高纯度原料，最终保障多晶硅的电学性能和产品质量。
      • 化学机械抛光：在多晶硅的加工过程中，需要进行化学机械抛光（CMP）来获得平整的表面。氢氧化锆可以作为抛光浆料中的磨料成分之一，它与氧化铝、二氧化硅等其他磨料配合使用，通过化学反应和机械研磨的共同作用，去除多晶硅表面的多余材料，实现表面平坦化。氢氧化锆可以提供合适的研磨能力，有助于提高抛光效率和表面质量，使多晶硅表面的粗糙度降低，满足后续工艺要求，例如为半导体制造中的光刻等工艺提供良好的表面基础
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