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半导体芯片的制造可以分为制造准备、制造过程两个阶段。harmonic芯片制造谐波SHA32Y120CG-B12B2制造准备阶段需要做的工作包括集成电路设计、掩模板设计制造、硅片的制备、制造环境的创建。芯片制造过程包括的主要工艺有薄膜生成工艺(氧化、淀积)、图形转移工艺(光刻、刻蚀)、掺杂工艺(扩散、离子注入)以及其他辅助工艺(热处理、清harmonic芯片制造谐波SHA32Y120CG-B12B2洗、CMP)等。芯片制造工艺设备按照工艺过程组成相应的生产线。
1. 半导体芯片制造工艺
以64GbCOMS器件制造为例,整个工艺过程大约需要180个主要步骤、harmonic芯片制造谐波SHA32Y120CG-B12B252个清洗/剥离步骤以及多达28块掩模板。这些工艺步骤基本上都属于上述四种基本工艺。如果集成电路的特征值进一步减少时,需要的工艺步骤数将会增加到500或更多。表2.2所列为COMS器件制造时使用的工艺类型及实际可选工艺方法