外部空气由管道经过防爆装置进入降压段，降低风速后进入等离子段，和中性粒子组成。等离子分为平衡等离子和非平衡等离子，低温等离子体主要由气体放电产生气体经过等离子气体净化装置的反应器区域时，等子体中的活性自由基可以有效的破坏各种病毒、组菌中的核酸，蛋白质，使其不能进行正常的代谢和生物合成，从而导致其死亡。在高能电子和自由基强氧化等多重作用下，气体中的有机物分子链被断开，发生一系列复杂的氧化还原反应，生产C02，H20等无害物质，正负离子可以清新空气。另外，借助等离子体中的离子与物体的凝并作用，可以对小至亚微米级的细微颗粒物（0.1-3微米）进行有效的收集。在经过光氧催化段，进行氧化还原反应，利用特制的高能高臭UV紫外线光束照射废气，裂解工业废气，臭氧是一种强氧化剂，也是世界公认的光谱高效杀菌消毒剂。臭氧比氧分子多了一个活跃的氧原子，化学性质特别活跃。其强大氧化性，既可以氧化分解有机物，也可以分解无机物，对主要臭氧氨、C3H9N、甲苯、二甲苯、甲硫醇、甲硫醚、二硫化碳、苯乙烯都可以裂解。在臭氧的作用下，这些有机污染物由大分子物质被分解为小分子物质，没有任何有毒残留，不会形成二次污染，被誉为“最清洁的氧化剂和消毒剂”，在特定波长的高能UV紫外线的照射下产生催化作用，使周围的水分子及空气激发生成ji具活性的自由基、臭氧等。这些基团氧化能力很强，能裂解氧化废气中挥发性有机物质分子链，改变物质结构，将高分子污染物质裂解、氧化为低分子无害物质，其去除效率可99%。

低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。一般气体放电，将会产生等离子，而这种放电现像就是通过某种机制使一个或者多个电子从气体原理或分子中分离出来，形成气体媒质，这种媒质就称为电离气体，如果外电场产生了电离气体，传导电流就形成了，这种现象就被称为气体放电。而这种净化设备的技术，就是工业废气处理最新的一种原理。